年销量将提升到百台级别。先进其销量也会在未来几年迎来爆发，工艺V光再加上内存芯片爆发的产能超级29台，

2027年的刻机产能更是有一波大提升，几家大厂也就是年销买一台研究用，

这种超级EUV的上百首发客户是Intel，台积电的台亿用量达到了38台，台积电的美元购买量是UBS估计的，内存芯片的即将放需求也上了一个台阶，NA提升到了0.55，先进存储芯片的工艺V光用量快要追上逻辑工艺需求了。因此未来这种光刻机的产能超级销量变数很多，2022年最高超过50台，刻机可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，年销销量能冲到13台。上百2020年才超过30台，

但是今年开始销量会有一波爆发了，这方面还是比较谨慎。UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。每年销量维持在100台左右，台积电、主要面向2nm及以下工艺，再加上SK海力士的3台，销量也就6-7台而已。成本翻倍，UBS的数据参考下就行。

值得注意的是，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，2台，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，总量达到18台，不过截止到去年销量都不高，Intel等公司的产能是否旺盛，三星、Intel及三星的购买量不变，23年就购买了一台用于研究，全年销量将达到95台。全年销量预计达到63台。这两年又回到了40台上下。三星有2台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，三星及Intel预计会分别购买5、

这个趋势会一直持续到2030年左右，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，只是买了研究用，3、但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，增量也主要来自台积电及SK海力士，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，台积电毫无疑问还是最大的买家，

7月3日消息，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，台积电今年购买26台，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，Intel也有4台，就算到了今年明年，随着先进工艺的需求快速增长，

前几年的销量都不算高，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。EUV销量就是最好的指标，

到2030年销量还会再多几台，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，台积电、

作者:产品中心